装置実績
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| シリコン8インチウエハ研磨装置 | |
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◎施工内容 加工、製作、組立、電気ハード設計、タッチパネル作画、デバッグ
◎装置使用機器 ・シーケンサー:FX2N-48MR+増設(三菱) ・タッチパネル:VT2-10TB(キーエンス） ・電空レギュレータ:ITV2030-312(SMC) |
| 卓上型 4インチウエーハ研磨装置 | |
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◎施工内容 機構設計、加工、製作、組立、電気ハード設計、ソフト設計、デバッグ
◎装置使用機器 ・シーケンサー:FX2N-48MR+D/A変換ユニット(三菱) ・電空レギュレータ:ITV2030-312(SMC) |
| 100L丸型全自動スラリータンク(透明塩ビ) | |
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◎施工内容 機構設計、加工、製作、組立、電気ハード設計、タッチパネル作画、ソフト設計、デバッグ、運転調整、客先据付
◎装置使用機器 ・シーケンサー:FX2N-48MR(三菱) ・タッチパネル:F940GOT-LWD(三菱） ・マグネットポンプ:MD-100FGZ(イワキポンプ) ・温度調節器:E5EK、E5CN(オムロン) |
| 50Lリサイクル、100L仕上げ用全自動スラリータンク(透明塩ビ) | |
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◎施工内容 機構設計、加工、製作、組立、電気ハード設計、タッチパネル作画、ソフト設計、デバッグ、運転調整、客先据付
◎装置使用機器 ・シーケンサー:FX2N-48MR(三菱) ・タッチパネル:VT2-10TB(キーエンス） ・マグネットポンプ:MD-100FGZ(イワキポンプ) ・マグネットポンプ:MD-50FY(イワキポンプ) ・温度調節器:E5EK、E5CN(オムロン) ・PH調整器:PH-51(イワキポンプ) |
| 50L角型リサイクルスラリータンク(透明塩ビ) | |
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◎施工内容 機構設計、加工、製作、組立、電気ハード設計、ソフト設計、デバッグ、運転調整、客先据付
◎装置使用機器 ・シーケンサー:FX1N-30MR(三菱) ・マグネットポンプ:MD-70RZM(イワキポンプ) ・温度調節器:E5EK(オムロン) |
| 純水バッファタンク | |
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◎施工内容 機構設計、加工、製作、組立、電気ハード設計、ソフト設計、デバッグ、運転調整、客先据付作業
◎装置使用機器 ・シーケンサー:キーエンス製 ・マグネットポンプ:イワキポンプ製 |
